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陶瓷基板真空搅拌脱泡机采购:气泡难点解析与选型方案

2026年09月01日10:16 

陶瓷基板是功率器件、LED、IGBT、传感器等电子封装的核心承载材料,氧化铝、氮化铝、氮化硅基板在流延成型阶段一旦裹入气泡,缺陷就会一路传递:生坯针孔、烧结气孔、金属化层起泡。对采购而言,脱泡机选得对不对,直接决定陶瓷基板的成品率与可靠性。下文把气泡难点讲透,再给出天行健机电的真空搅拌脱泡机方案,供采购参考。

一、陶瓷基板的气泡难点

陶瓷基板的气泡问题贯穿成型全流程,归纳起来主要有三难。

第一难,流延浆料是高粘高固含体系。氧化铝、氮化铝浆料固含量普遍在60wt%~75wt%,粘度动辄5000~20000mPa·s,搅拌分散时粉体与粘结剂极易裹入大量微米级气泡。气泡被稠厚浆料"锁"住,浮力远不足以挣脱,靠静置自然上浮,几十小时都排不干净。

第二难,气泡缺陷会在烧结中被"放大"。生坯中残留的气泡在排胶、烧结阶段无法排出,最终在基板内部形成封闭气孔。对氧化铝基板,气孔直接拉低抗弯强度与介电击穿强度;对氮化铝基板,气孔率每增加1%,热导率可能下降3%~5%,对高导热应用是致命的。

第三难,金属化工序同样怕气泡。厚膜印刷用的钨浆、钼锰浆、银浆多为高粘度金属浆料,印刷前若带气泡,金属化层烧结后易出现针孔、起泡,导致焊盘虚焊、键合不良。不少厂家换过分散机、延长过静置时间,气泡依旧反复,根子在于脱泡方式与陶瓷体系不匹配。

二、传统脱泡方式的局限

常见脱泡方式各有短板:静置脱泡最慢,高粘浆料动辄几十小时;超声波只对薄层、小容量有效;单纯抽真空不搅拌,表层先结皮,内部气泡排不出来;离心脱泡容量受限。对陶瓷基板产线而言,需要的是"真空+动态搅拌"协同的专用设备。

三、天行健机电真空搅拌脱泡机方案

针对陶瓷基板全流程的气泡难题,天行健机电提供TN-JB系列真空搅拌脱泡机(10L~50L可选),采用"真空负压+公转自转行星搅拌"联动方式:抽真空让气泡内外压差骤增、体积膨胀数十倍加速上浮;行星搅拌同步翻新浆料自由液面、剪切破泡,把静置数小时的脱泡过程压缩到几十分钟。以1L机型TN-JB50为例:

四、试样过程与结果

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